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單晶圓濕法清洗工藝中鋁金屬腐蝕問題研究

2023-08-04 16:03:16

相關(guān)

圖片2.png

顯示器生產(chǎn)簡述:

顯示器生產(chǎn)過程中在蝕刻、顯影之后都會有清洗工藝,清洗的主要目的是去除玻璃粉、指紋、浮油、塵埃粒子、纖維紙屑、礦物油和油脂等油垢、氧化硅等無機顆粒、制備加工過程的殘留物、水跡、手指印等,將這些污染物去除以生產(chǎn)出具有高光學(xué)性能的顯示屏。

清洗:

如所使用的玻璃基板在受入前必須清洗干凈,在濺鍍ITO導(dǎo)電膜之前還需要清洗干凈;

在涂敷光刻膠等之前都要對玻璃基板進行清洗,將1微米以上的顆粒以及所有的無機、有機污染物清洗干凈,保證工藝達到所需要的精度要求。

清洗會產(chǎn)生大量廢水,在當(dāng)前水資源日益緊缺的背景下,工業(yè)生產(chǎn)大多數(shù)都會采用廢水回用技術(shù)。人們根據(jù)廢水中有機物的含量,開發(fā)了物理、化學(xué)、生物以及聯(lián)合處理工藝用于回收廢水。

主要清洗工藝

濕法

    刷洗

    高壓噴淋

    浸泡式超聲波清洗

    流水式高頻超聲波清洗

    藥液噴淋

    二流體清洗

    超高壓微細粒子噴射清洗技術(shù)

    功能水清洗技術(shù)  

干法

    紫外線照射清洗(UV清洗)

    等離子體清洗 

問題描述

    清洗液中的污染物對玻璃基板性能造成不良影響;

    影響加工過程中玻璃基板表面與使用的各種材料之間的親和力;

    傷害玻璃基板松軟膜層 

產(chǎn)品應(yīng)用

高純水、超純水、去離子水的終端過濾

? ? PES膜濾芯?

 

工藝用水處理,或作為高純水及多種模式過濾的前過濾

 ?? PP膜濾芯?

相關(guān)產(chǎn)品:

精密濾芯過濾器              袋式過濾器

 

相關(guān)資料:

CC-Link總線技術(shù)在液晶屏清洗系統(tǒng)中的應(yīng)用;

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液晶面板清洗水分質(zhì)處理及高標(biāo)準(zhǔn)回用;

Fenton?水解酸化-好氧生化組合工藝處理液晶顯示屏清洗廢水;

高濃度液晶廢水處理研究;

一種針對TFT-LCD清洗廢液的回收工藝;

技術(shù)支持:

設(shè)備咨詢前請完善我司工況調(diào)查表,以便我司工程師提供更完善的過濾方案!

工況調(diào)查表

 

常見顆粒物尺寸大小;

常見液體粘度資料及數(shù)據(jù)參考表;

常用過濾設(shè)備-流體化學(xué)適應(yīng)性表;

規(guī)范過濾機濾布的更換、使用和維護;

過濾的基礎(chǔ)理論與技術(shù)進展;

過濾的基礎(chǔ)概念;

過濾的種類及模式;

過濾行業(yè)常見單位換算表;

過濾行業(yè)術(shù)語;

過濾機理和形式;

化學(xué)相容性表;

精細過濾及硅藻土助濾劑的應(yīng)用;

濾餅理論與過濾器設(shè)計的探討;

濾布常識數(shù)據(jù)及應(yīng)用范圍;

目數(shù)與微米精度換算;

如何挑選合適的過濾耗材;

深層過濾理論與技術(shù)的研究進展;

粘度當(dāng)量;


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